RTD Wafer, 高精度晶圓溫度感測器

  RTD Wafer專為需要高精度溫度測量的製程所設計， 例如半導體光刻製程：蝕刻、顯影、光阻劑處理系統等，晶圓針測以及其他類型的半導體製造設備。 Wafer上的RTD傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量方式是關鍵的集成元件， 透過研發團隊精心整合設計帶來高量測精度和結果穩定性。

✶  產品應用

測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩定狀態、冷卻和卸載。 提升對溫度的控制及一致性。 管理具有嚴格熱性能規格的生產流程或為 SPC 系統提供數據。 在硬體或製程研發期間優化晶圓工藝。 在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復或升級系統的重新鑑定過程中對晶圓廠設備進行測試和基準測試。

✶  產品規格

晶圓溫度監測系統 WaferBLE

溫度監控系統WaferBLE是透過藍牙無線通訊技術連接數據採集器TW-DC2301將即時溫度數據傳送至系統中， 能夠立即顯示、即時儲存記錄，並且提供各種數據， 協助用戶端分析統計。

I. 數據採集器：TW-DC2301

透過數據採集器TW-DC2301即時傳送資料至系統，提供0.01℃的最小讀取值和最小精度 0.01℃。 除了溫度之外，它還可以用於測量電阻和電壓。 TW-DC2301由內置可充電鋰電池供電，可實現 純粹的獨立性能，並封裝在小型外殼中。

II. 溫度監測與分析系統：WaferBLE

WaferBLE 可以做到：

☑ 檢索、報告、分析和可視化數據。

☑ 用於實時分析和報告的嵌入式結果。

☑ 支持數據探索和協作，使各種技能水平的人員能夠從多個角度快速查看數據。

☑ 幫助用戶提高芯片工廠生產效率、芯片產出良率的理想工具。

☑ 借助熱圖、折線圖等圖形分析工具，可以幫助用戶輕鬆了解流程的當前狀態。

III. 平板電腦搭載軟體WaferBLE

THERMOWAY 提供完整配置的平板電腦，為用戶預先設定好系統參數，開機後溫度系統 WaferBLE 便可直接運作。

Microsoft Surface Pro 9 配載 WINDOW 11 

完全可視用戶端需求搭配。

下載產品型錄:  晶圓溫度感測器與溫度監測系統

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